翹曲度，用于表述平面在空間中的彎曲程度，在數(shù)值上被定義為翹曲平面在高度方向上距離最遠(yuǎn)的兩點(diǎn)間的距離。絕對平面的翹曲度為0。翹曲變形是評定產(chǎn)品質(zhì)量的重要指標(biāo)之一。對于相同翹曲影響模式的同一產(chǎn)品時，這些指標(biāo)可以描述不同設(shè)計的翹曲變形的大小程度。但對于不同材料、模具結(jié)構(gòu)等造成翹曲變形的影響模式改變的因素，不同設(shè)計下各部分的翹曲變形嚴(yán)重程度也隨之改變。
美國FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測量儀具有哪些特殊功能？
1、多重導(dǎo)向銷設(shè)計，手動裝載樣品，有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研究。
2、優(yōu)異的分辨率——測量0.2um弓形高度變化超過 20M 的平鏡(大約 0.8%)
3、全3D測繪的手動旋轉(zhuǎn)平臺。
4、測量局部應(yīng)力---測量42點(diǎn)/mm 并大于8400點(diǎn)/200mm晶圓。這種測量密度獲得更好的信號噪聲比。
5、良好封閉的設(shè)計，溫度更穩(wěn)定。
6、特殊的設(shè)計使震動偏移降到較低。
7、圖形式使用界面更容易使用。
8、當(dāng)改變彈性模數(shù)，晶圓或薄膜厚度設(shè)備會自動重新計算應(yīng)力保存數(shù)據(jù)文檔。
9、可以計算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。
10、可以計算應(yīng)力的均勻性。
11、可以輸出數(shù)據(jù)到Excel，提供給SPC分析。
